产品特性:离子风棒 | 是否进口:否 | 产地:离子风棒 |
品牌:SIMCO | 型号:5635 | 输入电压:5635V |
消电时间:5635s | 订货号:5635 | 货号:5635 |
气压接头:5635 | 外形尺寸:5635mm | 产品认证:5635 |
是否跨境货源:否 |
SIMCO-ion思美高离子风棒5635
SIMCO-ion思美高离子风棒5635
SIMCO-ion思美高离子风棒5635
特征
单晶硅电极在全球范围内拥有***的应用记录,可避免电极材料污染金属以及***颗粒特性的风险。
高静电消除性能,可通过原始MP(脉冲调制)方法有效地将离子传输到目标
很小的潜在摆动特性,即使在100 mm的距离上也可以使用,并且离子平衡,在棒的长度上几乎没有偏差
智能控制电路不断自动管理离子产生状态和离子平衡
可以在1/4圈上拆装的可更换电极有助于减少维护人力
MP方法的电位摆幅非常小,简化了设置过程,并且较小的电位摆幅有效地将长期离子平衡保持在控制标准之内。
设置一条长度适合EFEM的长度以进行半导体前处理
内置24V DC驱动器控制器的紧凑型设计
遍布全球的***支持网络
规范
5635型AeroBar MP
输入电压 | 24V DC +/- 10% |
---|---|
输出电压 | 高达13.5kv pp可调 |
安装距离 | 100mm-1000mm(不吹气) |
离子产生方法 | 电晕放电法 MP(脉冲调制)法调制频率1-33 Hz |
离子平衡 | 自动平衡调整方法 <+/- 10V,由于位置<+/- 10v (600毫米距离)而引起的内杆差异 |
电极 | 单晶硅电极可更换 |
吹扫气体 | 清洁干燥的空气或氮气 |
Z大吹扫压力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小时累计值) |
信号输出 | 警报IO集电极开路输出 |
尺寸 | 高度78毫米x深度34毫米x长度低于 |
450 / 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750年/二千○五十○分之一千九百/ 2200 /2350毫米 | |
外观 | ABS树脂 |
什么是扩展*** 1,10nm级?
关于扩展的*** Class 1,10nm?ION Systems自己对清洁度的定义,以支持微粒管理。***14644-1的Z小粒径定义为100 nm。扩展*** 1,10nm级别使用与***14644-1相同的公式来计算允许的颗粒数量,并且允许的颗粒数量为1200pc / m3(34pc / ft3),且颗粒大小为10nm或更大。